High Pure 99,8% τιτανίου βαθμού 7 γύρους sputtering στόχοι ti target κράμα για προμηθευτή εργοστασίου επίστρωσης
Παράμετροι προϊόντος
Ονομασία προϊόντος | Στόχος τιτανίου για μηχανή επίστρωσης pvd |
Βαθμός | Τιτάνιο (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Στόχος κράματος: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr κ.λπ |
Προέλευση | Πόλη Baoji, επαρχία Shaanxi, Κίνα |
Περιεκτικότητα σε τιτάνιο | ≥99,5 (%) |
Περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες | <0,02 (%) |
Πυκνότητα | 4,51 ή 4,50 g/cm3 |
Πρότυπο | ASTM B381;ASTM F67, ASTM F136 |
Μέγεθος | 1. Στρογγυλός στόχος: Ø30--2000mm, πάχος 3,0mm--300mm.2. Στόχος πλάκας: Μήκος: 200-500 mm Πλάτος: 100-230 mm Πάχος: 3--40 mm;3. Στόχος σωλήνα: Διάμετρος: 30-200 mm Πάχος: 5-20 mm Μήκος: 500-2000 mm.4. Προσαρμοσμένο είναι διαθέσιμο |
Τεχνική | Σφυρήλατο και CNC μηχανική |
Εφαρμογή | Διαχωρισμός ημιαγωγών, Υλικά επίστρωσης μεμβράνης, Επίστρωση ηλεκτροδίων αποθήκευσης, Επικάλυψη με ψεκασμό, Επιφανειακή επίστρωση, Βιομηχανία επίστρωσης γυαλιού. |
Χημικές απαιτήσεις του στόχου τιτανίου
ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Στοιχειακό περιεχόμενο (≤wt%) | ||||||
N | C | H | Fe | O | Οι υπολοιποι | ||||
Titanium Pure | Γρ.1 | ΤΑ1 | Τάξη 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
Γρ.2 | ΤΑ2 | Τάξη 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
ΤιτάνιοΚράμα | Γρ.5 | TC4Ti-6Al-4V | Τάξη 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0.2 | Αλ: 5,5-6,75 V:3,5-4,5 |
Γρ.7 | ΤΑ9 | Τάξη 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Πδ:0,12-0,25 | |
Γρ.12 | ΤΑ10 | Τάξη 60Ε | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Μο: 0,2-0,4 Νι:0,6-0,9 |
Διαμήκεις μηχανικές ιδιότητες σε θερμοκρασία δωματίου
Βαθμός | Αντοχή σε εφελκυσμόRm/MPa(>=) | Αντοχή διαρροήςRp0,2 (MPa) | ΕπιμήκυνσηA4D(%) | Μείωση έκτασηςZ(%) |
Gr1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Στόχοι εκτόξευσης τιτανίου
Το κοινό μέγεθος του στόχου sputter τιτανίου: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40 κ.λπ.
Επίσης μπορεί να προσαρμοστεί σύμφωνα με τα αιτήματα ή τα σχέδια του πελάτη
Απαιτήσεις στόχων: υψηλή καθαρότητα, ομοιόμορφοι κόκκοι κρυστάλλου και καλή συμπαγή.
Καθαρότητα: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Διαδικασία παραγωγής τιτανίου στόχου
σφουγγάρι τιτανίου --- λιωμένο σε ράβδο τιτανίου --- δοκιμή---κόψιμο του πλινθώματος --- σφυρηλάτηση ---κύλιση ---ξεφλούδισμα --- ίσιωμα --- ανίχνευση ελαττωμάτων με υπερήχους --- συσκευασία
Χαρακτηριστικά στόχου τιτανίου
1. Χαμηλή πυκνότητα και αντοχή υψηλών προδιαγραφών
2. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση
3. Καλή αντίσταση στην επίδραση της θερμότητας
4. Εξαιρετική Αντοχή στην Κρυογονική Ιδιότητα
5. Μη μαγνητικό και μη τοξικό
6. Καλές θερμικές ιδιότητες
7. Χαμηλός συντελεστής ελαστικότητας